Керамические подложки

С 2003 года мы представляем на рынке РФ одного из мировых лидеров в области технической керамики — компанию CoorsTek (США), обеспечивающую около половины потребностей мирового рынка. Спектр продукции CoorsTek очень широк и охватывает различные области микроэлектроники и электротехники. Существует возможность разместить заказ как на плоские подложки, так и на объемные изделия, различающиеся как по составу керамики, так и по степени ее обработки.

Одним из наших главных направлений является дистрибьюция керамических подложек для толстопленочной технологии микроэлектроники. Основные характеристики предлагаемых подложек сведены в таблицу (см. ниже). Возможно получение как сплошных подложек, так и скрайбированных по заданным размерам. При размещении заказа на скрайбированные керамические подложки просим Вас обращать внимание на допуски, действующие для всех европейских заказчиков.

Сегодня все больше и больше отечественных предприятий убеждается в высоком качестве предлагаемых керамических подложек и других изделий из керамики от CoorsTek, обеспечивающих стабильное качество конечной продукции на уровне мировых стандартов.

Свойства керамических подложек CoorsTek для толстопленочной технологии

Характеристика Единица измерения Метод тестирования ADOS-90R ADS-96R
Содержание алюминия % ASTM D2442 91 96
Цвет     темно-коричневый белый
Плотность г/см³ ASTM C373 3,72 3,75
Твердость   ASTM E18, R45N 78 82
Обработка поверхности
(после вжигания)
микродюймы (мкм) профилометр 0,0004,
измерительный наконечник
радиуса 0,030,
отрезной станок ANSI/ASME B46.1
≤45 (1,14) ≤35 (0,89)
Средний размер зерна мкм метод пересечения 5–7 4–7
Впитывание влаги % ASTM C373 0 0
Газопроницаемость   ASTM C373 0 0
Крепкость на изгиб Kpsi (МПа) ASTM F394 53 (365) 58 (400)
Модуль эластичности 106 psi (ГПа) ASTM C623 45 (310) 44 (331)
Содержание вредных веществ   ASTM C623 0,24 0,25
Коэффициент теплового расширения
25–200° C
25–500° C
25–800° C
25–1000° C
10-6/°C ASTM C372
6,4
7,3
8,0
8,4

6,4
7,2
7,9
8,2
Теплопроводность
20° C
100° C
400° C
В/м°К различные
13 (90)
12 (83)
8 (56)

26 (180)
20 (139)
12 (83)
Диэлектрическая крепость
(60 циклов AC)
0,025″
0,040″
В/мм (кВ/мм) ASTM D149

540 (21,3)
 


600 (23,6)
490 (19,3)
Диэлектрическая постоянная
1 КГц
1 МГц
при 25° C ASTM D150
11,8
10,3

9,5
9,5
Фактор рассеивания
1 КГц
1 МГц
при 25° C ASTM D150
0,100
0,005

0,0010
0,0004
Индекс потерь
1 КГц
1 МГц
при 25° C ASTM D150
1,20
0,05

0,009
0,004
Объемное сопротивление
25° C
300° C
500° C
700° C
Ом·см
или
Ом·см²/см
ASTM D1829
≥1014
4·108

7·106

≥1014
1,0·1012
1,0·109
1,0·108